低温等离子复合技术淀积Al2O3膜的研究被引量：1

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摘要利用真空技术，低能离子束刻蚀技术和射频磁控溅射相结合组成的低温等离子复合技术，在软磁材料表面获得了性能优良，且满足工业生产要求的Ａｌ２Ｏ３绝缘膜，本文介绍了复合技术成膜装置特点及该Ａｌ２Ｏ３膜的特点，利用的扫描电子显微镜，透射电镜及Ｘ射线光电子能谱仪对该膜进行了分析，试验结果认为该膜的物理特性，电学特性及机械特性是优异的，对于该膜的半工业性试验也进行了研究。

作者林锡刚师勉恭

机构地区四川联合大学原子核科学技术研究所

出处《四川真空》 1998年第2期11-16,共6页

关键词低温等离子复合软磁材料薄膜沉积氧化铝

分类号 O484.1 [理学—固体物理]

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