动态反应池电感耦合等离子体质谱仪分析半导体级盐酸中杂质被引量：3

Determination of Impurities in Semiconductor Grade Hydrochloric Acid by Inductively Coupled Plasma-Mass Spectrometry with Dynamic Reaction Cell

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作者陈建敏游维松

机构地区珀金埃尔默仪器(上海)有限公司北京办事处

出处《岩矿测试》 CAS CSCD 北大核心 2010年第1期I0001-I0002,共2页 Rock and Mineral Analysis

关键词电感耦合等离子体质谱仪半导体工业杂质盐酸反应池器件设计关键工艺

分类号 TF843.1 [冶金工程—有色金属冶金] F416.63 [经济管理—产业经济]

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