摘要
综述了近些年来国内外半导体检测的光学技术研究的最新进展。重点阐述了基于光声光热效应的半导体检测技术的最新发展动态,其中分别对光热偏转(PTD)、光热调制反射(PMTR)、光热辐射(PTR)、光生载流子辐射(PCR)进行了详细介绍,最后提出了半导体检测技术的发展方向。
The latest progress of the photo-thermal technique used to measure semiconductor properties is reviewed.The several methods based on the photothermal effects,such as photothermal deflection,photomodulated thermoreflectance,photothermal radiometry,and photo-carrier radiometry,which are applied to measure semiconductor properties are discussed.The development direction of semiconductor technology is prospected
出处
《光电子技术》
CAS
北大核心
2009年第3期211-215,共5页
Optoelectronic Technology
基金
国家自然科学基金资助项目(50506006)
电子科大青年基金资助项目(JX05024)
关键词
光电检测
半导体特性
光热技术
热波
photoelectric detection
semiconductor properties
photothermal technique
thermal waves
