摘要
介绍了磁致伸缩微位移驱动器的工作原理,分析了检测方法,设计了使用双频激光干涉仪作为测量基准的测试平台;对该驱动器的位移的输出特性进行了测试,通过拟合处理对测试结果进行数据分析,可提高超磁致伸缩微位移驱动器的线性度和控制精度,使得驱动器性能改善。基于磁致伸缩效应原理研制的微位移驱动器,具有线性好、分辨率高、精度高等优点,经测试,达到了设定的参数指标要求。
The principle of a Magnetostrictive Micro-displacement Actuator （MMA） is described in this paper. A test method of the MMA is analyzed and a test-platform is designed by using a double-frequency laser interferometer to calibrate length measurements. Furthermore, the paper shows the test of the MMA with the test results fit by a polynomial curve. To some extent, the analysis and test can improve the linearity and precision of the actuator to meet the design requirements.
出处
《天文研究与技术》
CSCD
2009年第4期342-346,共5页
Astronomical Research & Technology
基金
国家自然科学基金(10778620)资助
关键词
磁致伸缩效应
微位移
驱动器
多项式拟合
Magnetostrictive Effect
micro-displacement
actuator
polynomial curve fitting
