几种常用线路板专用化学药液的土法生产
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1国产半导体制造设备获海外订单[J].中国集成电路,2012(1):2-2.
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2刘效岩,吴仪.65nm Cu互连晶片边缘和辐射状污染研究[J].半导体技术,2013,38(9):676-680.
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3董岚枫,徐春旭,诺门仓.化学研磨抛光技术在IC制造设备中的应用[J].电子工业专用设备,2005,34(9):42-45. 被引量：1
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4张磊,吴仪.双磁悬浮泵串联技术在超精细清洗机中的应用[J].半导体技术,2014,39(7):549-553. 被引量：1
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