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真空磁过滤系统的磁场模拟 被引量:2

Magnetic Simulation of Filtered Cathode Vacuum Arc Deposition
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摘要 利用ANSYS9.0有限元分析软件对弯曲磁过滤器的磁场进行数值模拟,计算线圈个数与扫描磁场对过滤磁场的影响,并将数值模拟数据与试验数据做了对比分析。结果表明,实验实测与有限元分析基本一致,模拟结果为磁过滤装置的设计提供了比较准确的数据资料。 The magnetic field of the curved magnetic filter is numerical simulated by the finite element software ANSYS to analyze the influence of the number of the coils and the scanning magnetic field on the filter magnetic field. It is obvious that the simulation data is in good agreement with the experimental results. The simulation results are evidential for the design of the structure of the magnetic filter.
作者 陈畑畑
出处 《军民两用技术与产品》 2009年第3期47-48,共2页 Dual Use Technologies & Products
关键词 磁过滤 有限元 ANSYS Magnetic filter, The finite element method, ANSYS
  • 相关文献

参考文献1

  • 1P. C. Johnson and H. Randhawa.Zirconium nitride films prepared by cathodic arc plasma deposition process[].Surface and Coatings Technology.1987

同被引文献15

引证文献2

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