离子注入工件温度的测量装置

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摘要离子注入材料改性是80年代一种新技术,新工艺,能提高材料的表面硬度,耐磨、抗腐蚀及改变表面的摩擦润滑性能,而注入工件在高真空、高电压和强辐射场环境中测量有一定的难度.本文描述在60～100KV 氮离子注入工件温度的测量装置,在0～+300℃范围内其最小二乘法线性度为0.2%,灵敏度约为20mV/℃;在我校100kV 离子注入金属改性机上试验表明,能稳定可靠地工作。

作者丁胜群遆宁

出处《集成电路应用》 1990年第2期28-31,共4页 Application of IC

关键词离子注入工件温度测量装置

分类号 TN305.3 [电子电信—物理电子学]

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