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对容栅位移传感器的研究被引量：3

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摘要本文论述梳齿式,屏蔽鉴相式,屏蔽鉴幅式,反射鉴相式,反射鉴幅式等容栅位移传感器的各种形式,结构及原理.然后讨论容栅传感器的特点及处理方法,最后介绍单片机容栅测角仪.

作者胡超方刚王耀

机构地区宁波大学自动化与计算机技术系

出处《机电工程》 CAS 1997年第6期177-179,共3页 Journal of Mechanical & Electrical Engineering

关键词容栅位移传感器位移测量传感器

分类号 TH822 [机械工程—精密仪器及机械] TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]

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机电工程

1997年第6期

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