摘要
本文对空气中应用扫描隧道显微镜（STM）进行的纳米级加工进行了研究。采用石墨（HOPG）和金薄膜作为样品．通过在STM探针和样品之间施加一定的电压脉冲制造出了具有纳米级尺度的结构。本文对形成的特征结构进行了分析．总结出部分实验规律．认为电场静电力作用使STM针尖或样品产生的机械变形是特征结构形成的主要原因。
Nanometer-scale structures on graphite and gold-film substrate were formed in air using a scanning tunneling microscope by applying voltage pulses between the tip and the sample. Theoretical and experimental studies show that the mechanical deformation of the tip or the sample caused by the electrostatic force play an important part in forming nanometer-scale structures.
出处
《微细加工技术》
1997年第4期25-29,共5页
Microfabrication Technology
基金
天津市21世纪-青年科学基金!941314005
关键词
扫描隧道显微镜
纳米加工
纳米制造
STM
Scanning Tunneling Microscope (STM )
Nanofabrication
Voltage pulse
