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氯硅烷和多晶硅精馏节能减排与提高质量的技术与应用 被引量:6

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摘要 将已经应用成功的化工精馏技术移植到多晶硅生产中来,对我国多晶硅生产降低能耗、提高质量、进一步提高我国多晶硅生产的核心竞争力具有重要的意义。
作者 李群生
机构地区 北京化工大学
出处 《新材料产业》 2008年第9期60-66,共7页 Advanced Materials Industry
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参考文献12

二级参考文献22

共引文献94

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引证文献6

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