摘要
介绍了岛津多道X荧光光谱仪的工作原理及各种状态时真空系统的特点,对真空泄露的诊断方法进行了探索和总结。
The paper introduced the principle of SHIMADZU multi - channel X - ray fluorescence spectrometer, discussed the characteristic of various vacuum system, and make a summary of the vacuum leakage troubleshooting method.
出处
《河南冶金》
2008年第4期28-29,共2页
Henan Metallurgy
关键词
X荧光光谱仪
真空系统
泄露
诊断
X - ray fluorescence spectrometer Vacuum system Leakage Diagnosis
