微米/纳米技术浅谈——MEMS的微加工技术(三)

导出

摘要微加工方法类别微机电系统(MEMS)的制造技术,无论微型惯性测量组合(MIMU),或是其它应用领域的各种MEMS,均涉及到其各主要组成单元的设计、材料、微加工、测试、控制等有关技术,它们与常规的机电系统的设计、制造技术是有较大差别的。MEMS的设计必须考虑到各种力的尺寸效应,以及其它微机械特性、微摩擦性能等。

作者高寿祖

出处《惯性世界》 1997年第3期11-16,,24,,共7页 For Ship.Armour.Aircraft.Spacecraft & Weapornry

关键词微机电系统简介微米技术纳米技术

分类号 TH-39 [机械工程]

引文网络
相关文献

1刘兴占.微米技术发展近况[J].中国仪器仪表,1997(3):7-9. 被引量：1
2周兆英,王晓浩,叶雄英,王伯雄,李莎,刘卫丹.微型机电系统[J].中国机械工程,2000,11(1):163-168. 被引量：36
3Wolfgang Ehrfeld,贡树行.微米和纳米新技术在制造光学器件方面的应用(下)[J].红外,2000,21(4):35-37.
4吴鹰飞,周兆英.柔性铰链的应用[J].中国机械工程,2002,13(18):1615-1618. 被引量：58
5藤田博之,新培智.利用IC技术制作微型传动装置[J].西部高新科技,1995(2):34-34.
6龚晓燕.微型机械电子系统的研究动态[J].煤矿机械,2001,22(11):1-4.
7Wolfgang Ehrfeld,贡树行.微米和纳米新技术在制造光学器件方面的应用(中)[J].红外,2000,21(3):30-35.
8凌鸿.热烈祝贺中国微米纳米技术学会成立——访学会副理事长、秘书长尤政教授[J].纳米科技,2005,2(2):1-1.
9于立民.信息时代的领头技术—纳米和微米技术:在光学器件制造上的应用[J].光机电信息,1999,16(1):9-15.
10中国微米纳米技术学会第七届学术年会秘书组.中国微米/纳米技术第七届学术年会会议纪要[J].微纳电子技术,2005,42(9):440-440.

惯性世界

1997年第3期

浏览历史

内容加载中请稍等...

微米/纳米技术浅谈——MEMS的微加工技术(三)

相关作者

相关机构

相关主题

浏览历史