单模Ge_xSi_(1-x)脊形光波导的研制

XPS dissection of zinc sulfide thin film prepared by RF magnetron sput

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摘要通过分析和计算，得到了单模ＧｅｘＳｉ１－ｘ脊形光波导内脊高、脊宽和腐蚀深度应满足的关系。实践证明，按照这些关系可以成功设计制作单模ＧｅｘＳｉ１－ｘ脊形光波导。

作者李国正李代宗

机构地区西安交通大学

出处《半导体光电》 CAS CSCD 北大核心 1997年第4期224-227,共4页 Semiconductor Optoelectronics

基金国家自然科学基金

关键词集成光学光波导脊形

分类号 TN252 [电子电信—物理电子学] TN256 [电子电信—物理电子学]

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