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直流二极型离子镀膜机测温装置的设计

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摘要 分析了直流二极型离子镀膜的传热机理,模拟镀膜过程中镀件的升温特性,设计了用热电偶测量镀件温度的装置,保证了测温的稳定性和精确性。
作者 韩晓毅
出处 《表面技术》 EI CAS CSCD 1997年第3期28-29,共2页 Surface Technology
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