辅助外加热方式直流等离子体化学气相沉积TiN的研究

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摘要 1 引言单纯靠离子轰击加热的直流等离子体化学沉积 TiN在刀具、刃具及各种耐磨工件上的应用已取得良好的结果,就其工艺而言,由于影响离子轰击的因素很多造成工艺参数控制复杂,重复性差,温度不均匀等缺点。90年代起本所开始采用了辅助外加热方式沉积技术,改变了单纯依靠离子轰击加热而带来了弊端。将反应时等离子体放电强度与放电工件温度分离,从而提高了工艺的稳定性。

作者谢雁赵程李世直

机构地区青岛化工学院等离子体表面技术研究所

出处《表面技术》 EI CAS CSCD 1997年第3期18-20,共3页 Surface Technology

关键词氮化钛直流等离子体化学气相沉积喷镀

分类号 TG174.442 [金属学及工艺—金属表面处理]

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