等离子体源离子注入同轴圆柱电极间的鞘层模型被引量：1

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摘要由等离子体源离子注入过程中圆筒零件与内电极构成的同轴圆柱电极间的鞘层扩展模型，推导出鞘层扩展前沿与扩展时间函数关系的微分方程，并利用二次样条插值法求出其数值解。这一结果可用来计算圆筒零件等离子体源内表面离子注入中每一脉冲时间内鞘层的扩展宽度，并依此计算出相应的注入剂量。

作者孙牧杨思泽李兵陈熙琛

机构地区中国科学院物理研究所

出处《真空科学与技术》 CSCD 北大核心 1997年第3期206-209,共4页 Vacuum Science and Technology

关键词等离子体源离子注入鞘层圆柱电极

分类号 TG156.8 [金属学及工艺—热处理]

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3Conrad J R,Radtke J L,Dodd R A et al.J Appl Phys,1987,62(11):4591
4Rauschenbach B,Mndl S.Nuclear Instruments and Methods in Physics Research,2003,B 20(6):803～807
5Vahedi V,Lieberman M A,Alves M V et al.J Appl Phys,1992,69(4):2008-2014
6Scheuer J T,Shamim M,Conrad J R.J Appl Phys,1990,67:1241-1245
7Emmert G A,Henry M A.J Appl Phys,1992,71(1):113-117
8Sheridan T E,Goeckner M J.J Appl Phys,1995,77(10):4967-4972
9Sheridan T E.Phys Plasmas,1996,3(6):2461-2466
10Dixon Tat-Kun Kwork,Paul K Chu,Chung Chan.IEEE Transactions on Plasma Science,1998,26(6):1669～1679

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1黄永宪,田修波,杨士勤,黄志俊,Ricky Fu,Paul K.Chu.等离子体浸没离子注入(PIII)过程中初始离子阵鞘层尺度内各物理量的时空演化[J].真空科学与技术学报,2005,25(2):115-119. 被引量：10

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真空科学与技术

1997年第3期

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