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JEM-1200EX电镜真空控制系统存贮器的故障检修

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摘要ＪＥＭ—１２００ＥＸ电镜真空控制系统存贮器的故障检修李艳芹郑庆山（电镜室）ＪＥＭ—１２００ＥＸ电镜是以计算机进行程序控制的先进高性能综合电子显微镜。它的真空系统是由两台微机联机协调控制，结构比较复杂，容易出现故障。真空系统主要是由旋转泵、油扩散泵等以...

作者李艳芹郑庆山

出处《锦州医学院学报》 1997年第3期25-26,共2页 Journal of Jinzhou Medical College

关键词电镜真空控制存贮器故障维修

分类号 TH773.107 [机械工程—精密仪器及机械]

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锦州医学院学报

1997年第3期

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