石英真空计的工作原理被引量：4

Operating principle of quartz oscillator vacuum gauge

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摘要本文介绍石英真空计的原理及石英晶振的特性。 The operating principle of quartz oscillator vacuum gauge and its characteristics of crystal oscillation are described and discussed.

作者王逊唐镇松张云峰

机构地区北京大学电子学系

出处《真空》 CAS 北大核心 2007年第5期43-44,共2页 Vacuum

关键词石英真空计谐振频率谐振阻抗 quartz oscillator vacuum gauge resonance freguency resonant impedance

分类号 TB77 [一般工业技术—真空技术]

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真空

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