一种真空度自动测试系统的设计与应用

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摘要针对大型高能物理系统中高真空器件的真空度检测需求,在分析了传统的采用真空计测量方法存在的问题后,提出并设计了一种基于光纤传输的真空度自动化测试系统。该系统使用时上位机自动采集真空计数据,并记录数据文件。系统投入实际应用后运行稳定。

作者卓红艳刘志强陈进李旭

机构地区中国工程物理研究院应用电子学研究所

出处《工业控制计算机》 2014年第10期55-55,58,共2页 Industrial Control Computer

关键词真空度上位机数据采集

参考文献2

1董长昆,李旺奎.电容薄膜规的发展和现状[J].真空,1995,32(1):41-48. 被引量：5
2李早平,修吉平.新型宽量程真空计的研制[J].自动化技术与应用,2006,25(11):72-74. 被引量：1
3JEFF P.MFC Windows程序设计[M].北京:清华大学出版社,2001..
4谭思亮邹超群.Visual C++串口通信工程开发实例导航[M].北京:人民邮电出版社,2002..
5ANNA GORECKA-DRZAZGA. Miniature and MEMS-type vacuum sensors and pumps[J]. Vacuum, 83 (2009):1419-1426.
6ESASHI M. Silicon micromachining for integrated microsystems[J].Vacuum, 1996,47:469-74.
7MIYASHITA H, ESASHI M. Wide dynamic range siheon diaphragm vacuum sensor by electrostatic servo system [J].Vac Sci Technol B, 2000,18:2692-2696.
8BROWN KB, Ma Y, ALLEGRETrO W, et al. Mierostructural pressure sensor based on an enhanced resonant modehy steresis effect[J].Vac Sci Technol B, 2001,19:1828-1832.
9KUO TC, GHOSH PK, KORNREICH PG. Thin-grim thermocouple gauge[J].Vac Sci Technol, 1988,6:1150-1153.
10VAN HERWAARDEN AW, SARRO PM. Integrated thermal vacuum sensor with exten dedrange [J]. Vacuum, 1988,38:449-453.

1余臻,柳培忠.基于Delphi平台的高效率实时数据采集技术[J].计算机工程,2006,32(20):253-254. 被引量：1
2董长盛,周乔君,陈泽熹,戴华通.多通道热偶规真空计的设计[J].真空,2014,51(3):17-19.
3王铁玲,刘宝伟,吕颖,陈宝成,马莎,浦龙.大过载真空传感器结构优化设计[J].传感器与微系统,2019,38(6):102-104. 被引量：4
4李得天,孙雯君,成永军,袁征难,曹生珠,高青松.MEMS型电容薄膜真空计研究进展[J].真空与低温,2017,23(2):63-67. 被引量：15
5李得天.中国真空计量2004-2019年发展概况及趋势分析[J].真空与低温,2020,26(1):1-16. 被引量：11
6李玉欣,陈宝成,孙帅,姜晓龙.大过载真空传感器失效分析[J].黑龙江科学,2020,11(20):5-9.
7王浩志.基于二维材料的真空气压传感器设计与测试[J].安全、健康和环境,2021,21(1):23-28.
8黄昊宇,黄辉,夏洪亚,叶成.高超声速风洞驻室静压精确测量装置研制及应用[J].自动化与仪器仪表,2021(9):212-215.
9米茂渊,陈叔平,成永军,孙雯君,裴晓强,贾春旺,吴宗礼,马晓勇.双电容结构对电容薄膜真空计输出特性的影响[J].真空科学与技术学报,2022,42(6):417-421.
10李鑫浦,张姝,雷程,张臻昊,李志强,余建刚,梁庭.基于4H-SiC的差分电容真空计设计及仿真[J].测试技术学报,2025,39(2):211-217.

工业控制计算机

2014年第10期

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