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厚膜TiO_2氧敏传感器研究 被引量:5

Study on Thick-Layer TiO 2 Oxygen-Sensor
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摘要 通过醇盐水解制备TiO2微粉并用厚膜工艺制备氧敏传感器;用专门造孔技术增加了厚膜敏感体中的孔隙率;用液相掺杂热扩散工艺对多孔敏感膜进行了表面修饰,提高其催化活性。 Powder TiO 2 was prepared by hydrolytic decomposition of alkoxide and the oxygen sensor made by thick-layer techniture,The porosity of thick layer oxygen sensor was improved by the special pore-making techniture. The heat proliferation of liquid dope was used to decorate surface of porous sensing film and improve catalytie activity. Using temperature auto-equilibrate to improve high temperature properties of sensor.
机构地区 西安交通大学
出处 《云南大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 1997年第2期135-138,共4页 Journal of Yunnan University(Natural Sciences Edition)
关键词 传感器 厚膜工艺 二氧化钛 sensing material,oxygen sensor,TiO 2
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同被引文献35

引证文献5

二级引证文献18

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