LIGA工艺技术

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摘要ＩＧＡ技术是纳米微米制造技术中，最有前途，最有生命力的方法，最近几年发展较快。本文对ＬＩＧＡ微制造技术做了较全面的介绍，并对光源、光刻胶、电铸、机械化学处理及掩模板的制作做了分析介绍，指出在实践中存在的问题。

作者刘兴占

机构地区清华大学精密仪器与机械学系

出处《中国仪器仪表》 1997年第2期10-11,14,共3页 China Instrumentation

关键词 LIGA 纳米制造微米制造

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中国仪器仪表

1997年第2期

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