摘要
用PHI 600型扫描俄歇探针、200型台阶仪和Q-920型图象分析仪,测定了35Cr Ni3MoV钢、Al-5.5 Zn-1.4Mg合金和Ti-5Al-2.5Sn合金的溅射速率,提出了对蚀坑分部位确定溅射速率的方法。文中给出了详细的测定结果。
Sputter rates of 35CrNi3MoV steel, Al-5. 5Zn-1. 4Mg alloy and Ti-5A1-2. 5Sn alloy are determined by using PHI600 SAM(PERKIN-ELMER), 200 Alpha-step and QUANTIMET 920 Image Analysis System. The sputter rates cf different positions in a crater are defined. The exnerimental results are shown in detail.
出处
《分析化学》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
1990年第12期1125-1127,共3页
Chinese Journal of Analytical Chemistry
关键词
钢
铝合金
钛合金
贱射速率
Sputter rate
Steel
Aluminium alloy
Titanium alloy
SAM
