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精密工作台光栅定位测量与控制系统的设计被引量：4

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摘要定位测量与控制系统是精密仪器中的一个重要组成部分,特别是对高精度的仪器尤为重要。精密工作台光栅定位测量与控制系统是一种包括激光干涉仪、光栅、线纹尺、感应同步器、磁栅及码盘等多个元器件组成的精确的定位测量与控制系统系统。

作者孙亮

机构地区中国计量学院

出处《电子测试》 2007年第1期47-48,共2页 Electronic Test

关键词光栅位移检测系统闭环伺服控制测量控制光纤光栅传感器

分类号 TP274.5 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置] TP273.5 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]

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