电子束制版自动定位系统

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摘要本文仅对公开发表的IBM研究中心的VS_1定位系统、IBM分公司的EL_1定位系统、Bell实验室的EBES定位系统和日本的电子束定位系统进行简略综述、比较,可供搞半导体设备的同志参考。

作者刘敬延

机构地区中国科学院电工研究所

出处《电子工业专用设备》 1990年第3期17-22,共6页 Equipment for Electronic Products Manufacturing

关键词集成电路电子束制板定位系统

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电子工业专用设备

1990年第3期

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