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WI VS三维表面形貌测量仪
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摘要
介绍利用纳米计量垂直扫描工作台实现对6JA干涉显微镜的改造，研制出WIVS三维表面形貌测量仪。该仪器能够精确有效地测量Ra值为0．001-2．0μm的三维表面形貌。通过对改造前后的6JA干涉显微镜进行性能分析，说明了WIVS三维表面形貌测量仪能够满足工程表面测量的发展要求。
作者
常素萍
谢铁邦
机构地区
华中科技大学机械科学与工程学院
出处
《计量技术》
2006年第12期39-41,共3页
Measurement Technique
关键词
白光干涉
干涉显微镜
三维表面形貌测量
分类号
TG84 [金属学及工艺—公差测量技术]
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