MOCVD用MO源的发展概况和研究方法被引量：1

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摘要概述了国际上MO源的发展概况(包括生产,经营厂家、品种及价格等)和研究方法(包括制备、纯化、分析、封装、毒性及安全技术等),分析了MO源研究的发展趋势。

作者李刚曾德辉

机构地区化工部光明化工研究所

出处《低温与特气》 CAS 1990年第1期5-12,共8页 Low Temperature and Specialty Gases

关键词 MO源 MOCVD工艺研究

参考文献3

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低温与特气

1990年第1期

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