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日本半导体工业用气体的生产和经营厂家简介 被引量:1

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摘要 日本的半导体制造业非常发达,它的电器产品在国际市场上具有相当的竞争力。因此,日本在半导体制造用气体的生产和经营方面也有一定的发展。那么,至今,日本到底有多少半导体用气的生产和经营厂家?它们各生产和经营哪些气体?搞清楚这些情况,对我们研究日本的气体行业概况,掌握其动态会有益处。
作者 李文洙
出处 《低温与特气》 CAS 1987年第2期8-17,共10页 Low Temperature and Specialty Gases
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