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超精密位移传感器

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摘要超精密位移传感器利用高稳定的单频Ｈｅ—Ｎｅ激光器作光源，以高隔离度的单模光纤定向耦合器作传光媒介，采用低零漂、低噪声的运放、六阶巴特沃兹滤波器、快速模／数变换电路及微机对信号进行处理，使小位移测量的分辨率达到５×１０－１２ｍ，并能进行在线检测。

作者王桂荣常丹华

机构地区燕山大学

出处《工业仪表与自动化装置》 1996年第2期8-11,共4页 Industrial Instrumentation & Automation

关键词光纤干涉仪位移传感器

分类号 TH822 [机械工程—精密仪器及机械]

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工业仪表与自动化装置

1996年第2期

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