摘要
光蚀刻技术广泛应用于金属部件的成型和加工，本文介绍用光蚀刻技术制造金属光栅盘的方法及其中的几个主要问题。
The photoetching technique is widely used in the forming and manufacturing of metal components.In this paper a manufacturing method of radial metal gratings by photoetching technique is introduced,and some technique problems are discussed.
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
1996年第3期85-90,共6页
Optics and Precision Engineering
关键词
光蚀刻
光化学加工
光致抗蚀剂
金属光栅盘
Photoeting,Photochemical machining,Photoresist,Radial metal grating,Etch factor
