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准分子激光器微细材料加工

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摘要通过光蚀刻进行材料去除，是利用准分子激光器使塑料、陶瓷、玻璃；金属、半导体及复合材料结构成型的基础。去除的深度达到每个脉冲几纳米至几微米，它取决于材料、波长和能量密度等。如使用紫外辐射，则结构的尺寸可达到微米和亚微米级，而不至烧坏其余的材料。

作者大舟

出处《光机电信息》 1995年第2期35-36,共2页 OME Information

关键词准分子激光器光蚀刻微细加工激光加工

分类号 TG665 [金属学及工艺—金属切削加工及机床] TN248 [电子电信—物理电子学]

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光机电信息

1995年第2期

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