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高速多功能信号处理MCM的设计与制作 被引量:2

Study on the High Speed Multi Signal Control MCM
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摘要 以一款T/R组件中的实用控制电路为对象,研究了基于多层陶瓷电路基板的MC M结构设计。针对高速信号的MCM多层基板布线技术及多层陶瓷基板的制作技术,研制出具有高速电路性能的实用化MCM组件,其体积和重量大幅度减少,基板层数达到12层,最小线宽/线间距0.2mm,组装密度57%。 This paper introduces the design and fabrication of a practical high speed multi-signal controller made of MCM-C. Structure design, wiring design and the fabrication of substrate, which all based on multi-layer ceramic substrate are presented. As a result, the ceramic substrate consists of 12 layers with the minimum line width less than 0.2 mm, and the assemable density reached 57%.
出处 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2006年第5期385-386,389,共3页 Semiconductor Technology
基金 总装备军事预研项目(41323020106)
关键词 高速多功能 多芯片组件 多层布线技术 多层基板技术 high speed MCM. multi-layer wiring, multi-layer substrate
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