国产硅舟的研制及其应用效果

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摘要首先分析了硅舟国产化的依据，叙述了国产硅舟的材料要求、制作方法与试验结果，并进行了成果评价。

作者许澄嘉

机构地区如皋无线电厂

出处《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 1996年第5期56-58,共3页 Semiconductor Technology

关键词国产硅舟研制应用半导体器件

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半导体技术

1996年第5期

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