真空薄膜沉积系统在中科院通过鉴定

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摘要最近，由中国科学院力学所承担的“真空薄膜沉积系统”项目组研制成功一套多源电子束物理气相沉积系统（IMCAS-MEBPVD），在大面积（6in）沉积薄膜厚度均匀性以及薄膜材料的介电特性等方面取得成果，其综合性能达到先进水平，在若干点上有重要创新，拥有多项先进技术的自主知识产权。近日“真空薄膜沉积系统”成功通过有关方面的验收。

出处《传感器世界》 2006年第2期46-47,共2页 Sensor World

关键词沉积系统薄膜材料通过鉴定真空中科院自主知识产权中国科学院厚度均匀性研制成功介电特性

分类号 TN305 [电子电信—物理电子学] TB383 [一般工业技术—材料科学与工程]

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