磁控溅射工艺参数对不锈钢薄膜耐蚀性影响的研究
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2汤勇,马博,刘彬,袁伟,余彬海,陆龙生.沉积时间和靶电流比例对磁控溅射TiAlN涂层耐磨性的影响（英文）[J].稀有金属材料与工程,2016,45(12):3057-3061. 被引量：4
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3潘晓龙,王少鹏,李争显,赵永庆.电弧离子镀和磁控溅射TiAlN涂层的耐蚀性能[J].热加工工艺,2013,42(24):184-186. 被引量：12
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9张剑,林晓炜,韩晓,娄长胜,张罡.工艺参数对反应磁控溅射TiN薄膜硬度的影响[J].沈阳理工大学学报,2015,34(6):20-23. 被引量：1
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10郑小秋,谢世坤,易荣喜,吴卫.Gd磁控溅射不锈钢薄膜生长形貌及附着性能研究[J].材料导报,2011,25(6):93-96.
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