摘要
简要评述包括低损耗的电光波导器件、红外波导探测器、二氧化硅光波回路等硅基光波导的结构、工艺及其器件。
This paper presents a concise review the structure,technology and devices of the silicon based optical waveguides including low-loss,electro-optic waveguide devices,infrared waveguide photodetectors and SiO2 optical circuits etc.
出处
《半导体光电》
CAS
CSCD
北大核心
1996年第1期1-6,共6页
Semiconductor Optoelectronics
关键词
半导体材料
半导体器件
硅
光波导
Semiconductor
Materials
Semiconductor Devices
Silicon
Optical Waveguides
