摘要
运用ＰＳＰＩＣＥ．５．０－ＣＡＤ工具对压电传感器阻抗变换电路进行了分析，在此基础上用厚膜技术实现了集成工作。在实际测试应用中取得了良好的结果。
The impedance conversion circuit in a piezoelectric sensor is analyzed by using CAD software Pspice 5.0.Then the circuit has been completed in thick film form by using hybrid technique.Good measured results have been obtained in practice.
出处
《固体电子学研究与进展》
CAS
CSCD
北大核心
1996年第1期80-84,共5页
Research & Progress of SSE
关键词
压电传感器
厚膜技术
压电器件
Piezeolectric Sensor Hybrid-integrate Technique
