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集成功率电子器件技术述评

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摘要一、引言自从四十年代后期发明晶体管以来,半导体器件技术基本上是按照两个分支向前发展,即集成电路电子器件技术和电力电子器件技术。前者需要处理的是信息,从小规模、中规模、大规模发展到今天的超大规模集成电路。后者处理的是功率,从小功率、中功率、大功率发展到目前的特大功率器件。

作者刘玉书王庆丰

机构地区航空航天部骊山微电子公司

出处《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 1990年第5期10-15,共6页 Semiconductor Technology

关键词集成电路工艺功率电子器件制造

分类号 TN323.4 [电子电信—物理电子学]

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半导体技术

1990年第5期

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