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基于谐波修正法的高精度时栅位移传感器 被引量:29

High-precision Time-grating Displacement Sensor Based on Harmonic Wave Correcting Method
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摘要 在时栅位移传感器的研制开发过程中,为了用低精度的机械加工实现高精度的测量,提出了一种对传感器误差进行修正和补偿的方法——谐波修正法。该方法和FFT方法不同之处在于:它不是用于对测量结果事后的分析,而是用于传感器设计之前和制造之中。实践证明,此方法使用后使传感器精度得以大幅度提高,具有广泛的应用前景。 Harmonic wave correcting method for error correction and compensation is firstly proposed to develop time-grating displaeement sensor,which uses low-precision machined components to achieve high precision measurement. Compared with FFT method,the proposed one is not used to analyze the measurement results but used to design and manufacture sensors. The precision of sensor is greatly improved by applying the new method. Experiment results coming out from applications conform the validity of the proposed method. And the method has broad application prospect.
出处 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第1期31-33,共3页 Chinese Journal of Scientific Instrument
基金 国家自然科学基金(59675089 50075091) 重庆市科委科技攻关资助项目。
关键词 谐波 修正 时栅 位移传感器 Harmonic wave Correcting Time grating Displacement sensor
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