氮化锆薄膜——耐热高强度电子元件材料

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摘要氮化锆（ZrN）具有独特的物理性质，它可用于耐热、高强度电子元件材料。喷溅法是合成该种薄膜的目前仅有的方法。但该方法制得的产品尺寸大小及形状受到限制。最近，由F1本Kanagawa大学研究成功的氮化锆薄膜采用了溶胶-凝胶法合成制得，解决了当前合成方法产品受尺寸大小及形状的限制。它采用先配制好的氮化锆-丙醇盐、

作者陶道敏（摘译）

出处《无机盐工业》 CAS 北大核心 2006年第2期61-61,共1页 Inorganic Chemicals Industry

关键词氮化锆薄膜电子元件材料强度耐热产品尺寸溶胶-凝胶法合成方法物理性质研究成功

分类号 TQ320.721 [化学工程—合成树脂塑料工业] TN605 [电子电信—电路与系统]

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