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等离子清洗

Plasma Cleaning

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摘要等离子清洗是利用气体放电的抽运效应来对激光陀螺腔体进行清洁的工艺过程。

作者吴嵬王轲（审核）

出处《导航与控制》 2005年第4期8-8,共1页 Navigation and Control

关键词等离子清洗工艺过程激光陀螺气体放电腔体抽运

分类号 TN40 [电子电信—微电子学与固体电子学]

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导航与控制

2005年第4期

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