硫化锌基底增透膜工艺研究

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摘要叙述了在硫化锌(ZnS)基底上制备8～12μm波段红外增透膜的工艺研究,包括膜系设计与选择、薄膜制备工艺试验和研究,并给出了相应的红外增透膜透过性能的测试结果。

作者赵强

机构地区天津光电技术研究所

出处《航天工艺》 1992年第5期12-13,18,共3页

关键词硫化锌红外透膜工艺过程

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航天工艺

1992年第5期

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