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等离子体化学气相沉积硬C3N4薄膜

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作者张正模

出处《等离子体应用技术快报》 1996年第5期7-8,共2页

关键词超硬材料等离子体化学气相沉积薄膜

分类号 TB43 [一般工业技术]

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等离子体应用技术快报

1996年第5期

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