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下一代半导体OEM的运动控制系统设计

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摘要面对持续发展的巨大市场,半导体制造设备厂商为提升制造设备性能,并提高半导体制造生产率,开始采用MEI和SynqNet技术,成功完成了革命性的机器人控制EFEM核心部分的设计。

作者无

机构地区美国Danaher Motion公司

出处《现代制造》 2005年第21期88-89,共2页 Maschinen Markt

关键词半导体制造设备控制系统设计 OEM 运动一代机器人控制持续发展设备性能生产率

分类号 F407.63 [经济管理—产业经济] TP273 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]

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现代制造

2005年第21期

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