摘要
计算了薄膜在高功率脉冲激光作用下截面温度场和应力场分布。分析了热冲击在光学薄膜激光损伤中的作用，并用调Ｑ１．０６μｍ脉冲激光对ＺｒＯ２单层膜损伤，讨论了不同激光强度下薄膜截面温度场与应力场分布，揭示了热冲击在ＺｒＯ２单层膜损伤中的机理和过程。
The sectional temperature and stress diStribution of optical films under high power PUlse laser irradiation are calculated.Thermal shock effect was analyzed. Experiment of damage induced by a Q switched 1. 06 μm laser to a ZrO2 single film reveals the thermal shock damage process and mechanism.
出处
《中国激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1996年第3期245-248,共4页
Chinese Journal of Lasers
关键词
光学薄膜
激光损伤
热冲击效应
high power pulse laser
thermal shock
laser damage
