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重掺Ⅲ-Ⅴ族化合物半导体载流子浓度的光测法研究

Research on Optical Measurement of Carrier Concentration of Heavily-Doped III-V Compound Semiconductors
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摘要 本文应用计算机,绘出各类重掺Ⅲ-Ⅴ族化合物半导体在不同等离子频率ω_p下的反射率曲线,从中找出了反射谱的高低频反射边在反射率极小值处所对应的频率ω_1与ω_2之和与ω_p间的函数关系.并应用此关系对不同载流子浓度的重掺Ⅲ-Ⅴ族化合物半导体GaAs和Inp样品进行实验上的验证,获得了满意的结果. Reflectivity curves of several kinds of heavily-doped III-V compound semiconductors aredrawn in different plasma frequency ωp using computer simulation.The relation between ω,and the sum of ω_1 and ω_2 is found, where ω_1 and ω_2 are frequencies of the high-and low-frequ-ency reflection edge on reflection spectra at the positions of reflectivity minima. Heavily-do-ped GaAs and InP with different carrier concentrations are tested using this method and theresult is satisfactory.
出处 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 1989年第12期955-959,共5页 半导体学报(英文版)
关键词 Ⅲ-Ⅴ族化物 半导体 载流子 浓度 Ⅲ-Ⅴ Group Compound Carrier Concentration
  • 相关文献

参考文献2

  • 1徐谨民,红外与毫米波学报,1987年,6卷,271页
  • 2杨顺华,国体物理导论,1979年

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