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溅射积附时金属镀层内应力的研究

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摘要分析了溅射积附时金属镀层内应力的起因、本质及表现形式，讨论了镀层应力，本征应力和热应力的影响因素，并对镀层粘合力进行了研究。

作者汪琦

机构地区华东理工大学化工机械研究所

出处《化工装备技术》 1995年第3期29-32,共4页 Chemical Equipment Technology

关键词镀层本征应力热应力金属真空镀膜

分类号 TQ024 [化学工程]

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化工装备技术

1995年第3期

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