三、四探针测试双极电路外延层电阻率的分析

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摘要在双极电路生产中,总希望在正片上较为准确地测定外延层的电阻率.一般说来,三探针测试适用于N/N^+、P/P^+型结构的外延层的电阻率的测试;四探针适用于N/P型结构的外延层的电阻率测试.双极电路所使用的外延片,在外延之前已作有局部埋层,这就不能完好地满足三、四探针的测试条件,如果用三、四探针测试这类外延片的电阻率,总会产生不同程度的误差.

作者席奎德

机构地区常州半导体厂

出处《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 1989年第4期44-48,共5页 Semiconductor Technology

关键词双极电路外延层电阻率探针测试

分类号 TN431.07 [电子电信—微电子学与固体电子学]

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半导体技术

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