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激光探针法研究高压硅pn结表面电场

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摘要 本文介绍一种新的高压硅pn结表面电场的测试方法,即激光探针法,对该测试法的装置与测试原理以及在研究高压pn硅结表面中的应用做了介绍,并对实验结果进行了讨论.
作者 田敬民
出处 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 1989年第3期54-58,共5页 Semiconductor Technology
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