摘要
本文介绍了容栅传感器的工作原理及精度分析，重点讨论了容栅传感器刻划误差的分析计算方法．
The working pricnciple and the accuracy analysis of capacitance sensorwas described. The computing way of analyzing the graduated error of capacitance sensor wasalso introduced.
出处
《工具技术》
北大核心
1995年第7期41-46,共6页
Tool Engineering
