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真空镀膜机在制备SiO增透膜中的应用被引量：1

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摘要本文主要介绍如何改造真空镀膜机,使它能应用于增透膜的制备.改造后的镀膜机己用于SiO增透膜的制备.将SiO增速膜蒸镀于发光管的发光面上,能使发光管的发光功率和入纤耦和功率有较大的提高.

作者乐兆昌

机构地区邮电部上海通信设备厂

出处《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 1989年第3期51-53,共3页 Semiconductor Technology

关键词真空镀膜机 SIO 增透膜制备

分类号 TN305 [电子电信—物理电子学]

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半导体技术

1989年第3期

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